真空紫外线(VUV) 是波长小于190 nm的紫外线，能量较普通紫外线(UV)高，可直接作用于水和有机污染物，使其发生裂解，产生羟基自由基，从而与污染物发生氧化反应，使有机物完全降解。采用两级A/O 生物膜反应器对焦化废水进行生物处理，并首次尝试以紫外线技术( 普通紫外与真空紫外) 进行深度处理。反应器中COD去除率稳定在85%～90%之间，总氮去除率最高可达31% 。通过比较COD、DOC及各项氮指标( 氨氮、亚硝酸盐氮、硝酸盐氮和总氮)，发现真空紫外优于普通紫外，可以更加有效地去除生物处理出水中残留的有机物及含氮无机物。通过紫外可见吸收光谱、气相色谱-质谱和三维荧光光谱3种技术对水质成分进行分析，推测焦化废水生物处理出水中的黄色物质主要为腐殖酸类物质，真空紫外光照12小时后可将其完全去除，并显著改善出水的色度。

两级A/O 生物膜反应器采用的橡胶填料能够实现快速挂膜，为了提高脱氮效果，需要严格控制好氧反应柱的 DO，并分别对硝化细菌与反硝化细菌进行培养与驯化。同普通紫外线相比，真空紫外线可以更有效的去除生物出水中氨氮、亚硝酸盐氮和总氮( 去除率分别高出7%，17% 和18%)，少产生35% 的硝酸盐氮，它可作为焦化废水的一种新型深度处理技术。